Service Area
반도체 제조장비를 Maintenance할 수 있는 Area로 주로 장비의 구동분위기가 설치 1M-DRAM의 경우 요구 청정도는 CALSS 100.
[ S/A ]
Supply Air.
[ S/C ]
Solder Coating
IC의 lead 부식방지를 위해 표면을 납으로 도금하는 공정으로 lead를 보호하고 완제품이 되어 조립시 효율을 증대시키기 위하여 실시한다.
[ S3DG ]
Self-aligned Silicidation of Source Drain and Data
소자 축소화에 따라Source/Drain xj Depth도 Shallow하게 Control해야 하기 때문에 이에 따라 확산층의 저항이 높아짐. 이 기술은 S/D xj를 증가시키지 않고 직렬저항을 감소시키기 위해서 Source Drain,Gate위에 Self-aligning 방식으로 형성시키는 것.
[ SAM ]
Serial Access Memory
VIDEO REM 내부회로의 일부로서 Data출력시 Serial로 출력이 가능하도록 해주는 회로.
[ SAMOS ]
Stacked gate Avalanche injection MOS TR
Drain의 P-N접합에 의해서 Avalanche 현상을 일으켜,hole,electron을 SiO2속에 주입하고 floating gate에 축적함으로써 기억시키는 TR.
[ Sample ]
시료. Lot 또는 Process의 합·부판정을 위한 기준으로 사용할 정보를 제공하기 위해서 검사의 목적으로 특정 Lot 또는 Process로부터 얻어낸 제품의 하나 혹은 그 이상의 단위체들을 말한다.
[ Sample Size(n) ]
시료의 크기. 시료의 단위 갯수를 말한다.
[ Sampling Interval ]
시료채취 간격. 계통 sampling에서 시료들 사이에 시각적·공간적으로 할당되어지는 간격을 말한다.
[ Saponifier ]
Rosin Flux에 들어있는 대부분의 요소를 비누로 바꾸는 알칼리 화합물. 비누는 물로 씻어냄
An aqueous solution of organic or inorganic base and additives for dispersing and removing rosin and water-soluble flux residues via chemical reaction as a detergent solution.
